Nanolithography and patterning techniques in microelectronics /
Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics examines the new range of techniques that have made it possible to develop complex patterns at the nanoscale and explores their industrial applications. This book considers ways of forming and modifying surfaces for patterning and provide...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | English |
| Nhà xuất bản: |
Cambridge : Boca Raton, FL :
Woodhead Pub. ; CRC Press,
2005.
|
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/1153 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|
mạng
https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/1153Tầng 4 - A10 - Khu đọc mở
| Ký hiệu xếp giá: |
621.381 N105-O 2005 |
|---|---|
| Số ĐKCB 00017542 |
Not for loan
Thu hồi tài liệu này
Ghi chú:
|