Investigation of the optical, electrical, and elemental properties upon annealing of spatial atomic layer deposited (SALD) Al-doped ZnO thin films
Al-doped ZnO (AZO) has received significant attention due to its inherent properties like wide bandgap, high optical transparency, and electrical conductivity that has established its potential application in optoelectronic devices. The primary challenge in the efficient use of AZO thin films is the...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài trích |
| Ngôn ngữ: | eng |
| Nhà xuất bản: |
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
2021
|
| Truy cập trực tuyến: | https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11687/2590655/Investigation-of-the-optical-electrical-and-elemental-properties-upon-annealing/10.1117/12.2590655.short https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/2850 https://doi.org/10.1117/12.2590655 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|