One More Evidence Supporting Damage Growth Inside Silicon MEMS Structures from Comparison of Strength Affected by Cyclic Compressive Stress
Recently, dislocation in single-crystal silicon has been confirmed to be induced by fatigue. It was found that the fatigue lifetime of silicon is likely to be dominated by accumulation of crystal defects, i.e., dislocations. In previous studies, crystal d
Lưu vào:
| Tác giả chính: | , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài trích |
| Ngôn ngữ: | eng |
| Nhà xuất bản: |
Lecture Notes in Mechanical Engineering
2021
|
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://link.springer.com/chapter/10.1007/978-3-030-69610-8_110 https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/2734 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|