Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Vol 2 /
"In Solid State Physics, Fluidics and Analytical Techniques in Micro- and Nanotechnology we lay the foundations for a qualitative and quantitative theoretical understanding of micro-and nano-electromechanical systems, i.e., MEMS and NEMS. In integrated circuits (ICs), MEMS and NEMS, silicon (Si...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Sách giáo trình |
| Ngôn ngữ: | English |
| Nhà xuất bản: |
Boca Raton, FL :
CRC Press,
c2012.
|
| Phiên bản: | 3rd ed. |
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/1714 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|