Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Vol 3 /

"In Solid State Physics, Fluidics and Analytical Techniques in Micro- and Nanotechnology we lay the foundations for a qualitative and quantitative theoretical understanding of micro-and nano-electromechanical systems, i.e., MEMS and NEMS. In integrated circuits (ICs), MEMS and NEMS, silicon (Si...

Mô tả chi tiết

Lưu vào:
Hiển thị chi tiết
Tác giả chính: Madou, Marc J.
Định dạng: Sách giáo trình
Ngôn ngữ:Vietnamese
Nhà xuất bản: Boca Raton, FL : CRC Press, c2012.
Phiên bản:3rd ed.
Chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/1714
Từ khóa: Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!

Tài liệu tương tự