Highly Sensitive Self-Actuated Zinc Oxide Resonant Microcantilever Humidity Sensor
A resonant microcantilever sensor is fabricated from a zinc oxide (ZnO) thin film, which serves as both the structural and sensing layers. An open-air spatial atomic layer deposition technique is used to deposit the ZnO layer to achieve a ∼200 nm thickness, an order of magnitude lower than the thick...
Lưu vào:
Tác giả chính: | Kissan, Mistry, Viet Huong, Nguyen, Mohamed, Arabi, Khaled, H. Ibrahim, Hatameh, Asgarimoghaddam, Mustafa, Yavuz |
---|---|
Định dạng: | Bài trích |
Ngôn ngữ: | English |
Nhà xuất bản: |
American Chemical Society
2022
|
Chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.1c04378 https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/5768 https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.1c04378 |
Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|
Tài liệu tương tự
-
Highly Sensitive Self-Actuated Zinc Oxide Resonant Microcantilever Humidity Sensor
theo: Kissan, Mistry, và những người khác
Nhà xuất bản: (2022) -
Parallel magnetic resonance imaging acceleration with a hybrid sensing approach
theo: Anh Quang Tran
Nhà xuất bản: (2021) -
Nanoscale Film Thickness Gradients Printed in Open Air by Spatially Varying Chemical Vapor Deposition
theo: Abdullah H. Alshehri, và những người khác
Nhà xuất bản: (2021) -
Improving bifunctional catalytic activity of biochar via in-situ growth of nickel-iron hydroxide as cathodic catalyst for zinc-air batteries
theo: Zhang, Pengxiang, và những người khác
Nhà xuất bản: (2023) -
Experimental study on the effects of hydrochemistry and periodic changes in temperature and humidity on sandstone weathering in the Longshan Grottoes
theo: Sun, Bo, và những người khác
Nhà xuất bản: (2023)