Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /
Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Đồng tác giả: | |
| Định dạng: | Sách giáo trình |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Nhà xuất bản: |
Hà Nội :
Bách khoa Hà Nội,
2014.
|
| Phiên bản: | Xuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung |
| Chủ đề: | |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|
| Tóm tắt: | Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic |
|---|---|
| Mô tả vật lý: | 279 tr. ; 24 cm. |
| Số ISBN: | 9786049116551 : |