Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /

Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Nguyễn, Đức Chiến
Other Authors: Nguyễn, Văn Hiếu
Format: Textbook
Language:Vietnamese
Published: Hà Nội : Bách khoa Hà Nội, 2014.
Edition:Xuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01458nam a22002537a 4500
005 20200501230735.0
008 200404s2014 vm |||||||||||||||||vie||
020 |a 9786049116551 :  |c 82.000 VND 
040 |a Phenikaa-Uni  |b vie  |c Phenikaa-Uni  |e aacr2 
041 0 |a vie 
044 |a vm 
082 0 4 |2 23  |a 621.3  |b C455N 2014 
100 1 |a Nguyễn, Đức Chiến 
245 1 0 |a Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /  |c Nguyễn Đức Chiến chủ biên; Nguyễn Văn Hiếu 
250 |a Xuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung 
260 |a Hà Nội :  |b Bách khoa Hà Nội,  |c 2014. 
300 |a 279 tr. ;  |c 24 cm. 
520 3 |a Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic 
650 0 4 |a Công nghệ chế tạo  |x Vi điện tử 
650 0 4 |a Mạch vi điện tử 
700 1 |a Nguyễn, Văn Hiếu 
942 |2 ddc  |c SGT 
999 |c 2722  |d 2722 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_300000000000000_C455N_2014  |7 1  |9 11332  |a PHENIKAA  |b PHENIKAA  |c PNK_105  |d 2020-04-15  |g 82000.00  |l 0  |o 621.3 C455N 2014  |p 00009628  |r 2020-04-15  |v 82000.00  |w 2020-04-15  |x 1 bản đọc tại chỗ  |y SGT  |z Đọc tại chỗ  |x 1 bản đọc tại chỗ