Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /
Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Textbook |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
Hà Nội :
Bách khoa Hà Nội,
2014.
|
| Edition: | Xuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic |
|---|---|
| Physical Description: | 279 tr. ; 24 cm. |
| ISBN: | 9786049116551 : |