Highly Sensitive Self-Actuated Zinc Oxide Resonant Microcantilever Humidity Sensor

A resonant microcantilever sensor is fabricated from a zinc oxide (ZnO) thin film, which serves as both the structural and sensing layers. An open-air spatial atomic layer deposition technique is used to deposit the ZnO layer to achieve a ∼200 nm thickness, an order of magnitude lower than the thick...

Mô tả chi tiết

Lưu vào:
Hiển thị chi tiết
Tác giả chính: Kissan, Mistry, Viet Huong, Nguyen, Mohamed, Arabi
Định dạng: Bài trích
Ngôn ngữ:English
Nhà xuất bản: ACS Publications 2022
Chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.1c04378
https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/5910
https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.1c04378
Từ khóa: Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!