Highly Sensitive Self-Actuated Zinc Oxide Resonant Microcantilever Humidity Sensor
A resonant microcantilever sensor is fabricated from a zinc oxide (ZnO) thin film, which serves as both the structural and sensing layers. An open-air spatial atomic layer deposition technique is used to deposit the ZnO layer to achieve a ∼200 nm thickness, an order of magnitude lower than the thick...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài trích |
| Ngôn ngữ: | English |
| Nhà xuất bản: |
American Chemical Society
2022
|
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.1c04378 https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/5768 https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.1c04378 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên đánh dấu biểu ghi này!
|