Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /

Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Nguyễn, Đức Chiến, (Chủ biên)
Other Authors: Nguyễn, Văn Hiếu
Format: Book
Language:Vietnamese
Published: Hà Nội : Bách khoa Hà Nội, 2007.
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items