Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử /
Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Book |
Language: | Vietnamese |
Published: |
Hà Nội :
Bách khoa Hà Nội,
2007.
|
Subjects: | |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
LEADER | 01351nam a22002417a 4500 | ||
---|---|---|---|
005 | 20200501230736.0 | ||
008 | 200404s2007 vm |||||||||||||||||vie|| | ||
020 | |c 52.000 VND | ||
040 | |a Phenikaa-Uni |b vie |c Phenikaa-Uni |e aacr2 | ||
041 | 0 | |a vie | |
044 | |a vm | ||
082 | 0 | 4 | |2 23 |a 621.3 |b C455N 2007 |
100 | 1 | |a Nguyễn, Đức Chiến, |e Chủ biên | |
245 | 1 | 0 | |a Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử / |c Nguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu |
260 | |a Hà Nội : |b Bách khoa Hà Nội, |c 2007. | ||
300 | |a 340 tr. ; |c 24 cm. | ||
520 | 3 | |a Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic | |
650 | 0 | 4 | |a Công nghệ chế tạo |
650 | 0 | 4 | |a Mạch vi điện tử |
700 | 1 | |a Nguyễn, Văn Hiếu | |
942 | |2 ddc |c SACH | ||
999 | |c 2788 |d 2788 | ||
952 | |0 0 |1 0 |2 ddc |4 0 |6 621_300000000000000_C455N_2007 |7 1 |9 11462 |a PHENIKAA |b PHENIKAA |c PNK_105 |d 2020-04-15 |g 52000.00 |l 0 |o 621.3 C455N 2007 |p 00009826 |r 2020-04-15 |v 52000.00 |w 2020-04-15 |x 1 bản đọc tại chỗ |y SACH |z Đọc tại chỗ |x 1 bản đọc tại chỗ |