Cover Image

Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano

CuOx là một vật liệu bán dẫn loại p nhiều tiềm năng đã được nghiên cứu và ứng dụng trong một số lĩnh vực như trong tế bào quang điện, transistor màng mỏng, cảm biến khí hay siêu tụ… Trong khi đó, công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển là một trong những công nghệ tiên tiến nhất hi...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Dương, Đức Anh
Other Authors: Nguyễn, Viết Hương
Format: Study
Language:Vietnamese
Published: Phenikaa University 2024
Subjects:
Màng mỏng
Nano
Online Access:https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/10291
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id oai:localhost:PNK-10291
record_format dspace
spelling oai:localhost:PNK-102912024-05-14T08:26:00Z Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano Dương, Đức Anh Nguyễn, Viết Hương Màng mỏng Nano CuOx là một vật liệu bán dẫn loại p nhiều tiềm năng đã được nghiên cứu và ứng dụng trong một số lĩnh vực như trong tế bào quang điện, transistor màng mỏng, cảm biến khí hay siêu tụ… Trong khi đó, công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển là một trong những công nghệ tiên tiến nhất hiện nay, cho phép chế tạo màng mỏng ở mức nano và có thể kiểm soát được thông qua các điều kiện chế tạo như nhiệt độ, nồng độ hóa hơi các chất khí hay bản chất bề mặt đế lên tính chất vật lý, hóa học… Trong đồ án này, chúng tôi đã nghiên cứu và tối ưu quy trình SALD. Bằng công nghệ này, lần đầu tiên tiền chất Cu(II) acetylacetonate được sử dụng để chế tạo màng CuOx, trong đó việc kiểm soát pha CuO hay Cu2O phải được điểu khiển. Bằng các phương pháp phân tích hiện đại, các tính chất đặc trưng của màng mỏng CuOx được nghiên cứu và đo đạc. Kết hợp với các kết quả đã tối ưu từ trước đến giờ của nhóm, việc chế tạo linh kiện điện tử nano, ví dụ diode bán dẫn màng mỏng nano dựa trên màng CuOx loại p và màng ZnO hoặc SnO2 loại n cũng đã được tiến hành. Các kết quả phân tích cho thấy màng mỏng CuOx là vật liệu bán dẫn loại p đầy tiềm năng, có khả năng ứng dụng được trong một số lĩnh vực như cảm biến khí, cảm biến tia UV hoặc trong vi mạch điện tử trong suốt. 2024-05-14T08:26:00Z 2024-05-14T08:26:00Z 2024 Study https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/10291 vi application/pdf Phenikaa University
institution Digital Phenikaa
collection Digital Phenikaa
language Vietnamese
topic Màng mỏng
Nano
spellingShingle Màng mỏng
Nano
Dương, Đức Anh
Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
description CuOx là một vật liệu bán dẫn loại p nhiều tiềm năng đã được nghiên cứu và ứng dụng trong một số lĩnh vực như trong tế bào quang điện, transistor màng mỏng, cảm biến khí hay siêu tụ… Trong khi đó, công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển là một trong những công nghệ tiên tiến nhất hiện nay, cho phép chế tạo màng mỏng ở mức nano và có thể kiểm soát được thông qua các điều kiện chế tạo như nhiệt độ, nồng độ hóa hơi các chất khí hay bản chất bề mặt đế lên tính chất vật lý, hóa học… Trong đồ án này, chúng tôi đã nghiên cứu và tối ưu quy trình SALD. Bằng công nghệ này, lần đầu tiên tiền chất Cu(II) acetylacetonate được sử dụng để chế tạo màng CuOx, trong đó việc kiểm soát pha CuO hay Cu2O phải được điểu khiển. Bằng các phương pháp phân tích hiện đại, các tính chất đặc trưng của màng mỏng CuOx được nghiên cứu và đo đạc. Kết hợp với các kết quả đã tối ưu từ trước đến giờ của nhóm, việc chế tạo linh kiện điện tử nano, ví dụ diode bán dẫn màng mỏng nano dựa trên màng CuOx loại p và màng ZnO hoặc SnO2 loại n cũng đã được tiến hành. Các kết quả phân tích cho thấy màng mỏng CuOx là vật liệu bán dẫn loại p đầy tiềm năng, có khả năng ứng dụng được trong một số lĩnh vực như cảm biến khí, cảm biến tia UV hoặc trong vi mạch điện tử trong suốt.
author2 Nguyễn, Viết Hương
author_facet Nguyễn, Viết Hương
Dương, Đức Anh
format Study
author Dương, Đức Anh
author_sort Dương, Đức Anh
title Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
title_short Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
title_full Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
title_fullStr Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
title_full_unstemmed Phát triển màng mỏng CuOx bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
title_sort phát triển màng mỏng cuox bằng công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử nano
publisher Phenikaa University
publishDate 2024
url https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/10291
_version_ 1799057260935118848
score 8.891787

Similar Items